(1)表面結晶性。晶體的功能依賴于結晶結構，結構遭到破壞會引起功能下降。因此，在加工單晶時，最重要的質量指標是不破壞表面的結晶性。藍寶石單晶( 1012)表面在100kV加速電壓下的反射電子衍射象。用各種方法拋光藍寶石單晶( 1012)面的試驗結果表明，用8 μmSiC拋光的表面和用3 μm金剛石拋光的表面，其表面的結晶特性已遭破壞，而浮動拋光面和化學拋光面均獲得明顯的菊池線，這就表明加工表面的結晶基本保持良好。腐蝕只有內在的變形縮孔而加工不產生變形縮孔，說明單晶材料的浮動拋光不產生塑性變形。拋光Mn - Zn鐵氧體單晶也得到同樣的效果。
 
(2)表面磁特性。磁性材料的磁特性不僅對組織結構敏感，對應力也很敏感。一旦加工表面有殘余應力，磁特性就會發生變化。Mn - Zn鐵氧體環形工件的兩個平面用各種方法進行加工后，發現浮動拋光面顯示出有與化學腐蝕加工面同樣的磁特性，這說明其表面沒有殘余應力。用Cr?O?拋光的表面下0.5μm深度有壓縮的殘余應力，導致常溫下的起始導磁率降低到母材的60%左右。
 
(3)表面化學特性。在拋光過程中，拋光劑粒子元素侵入到工件最表層后，形成缺陷點。由于異質元素的侵入，其周圍的結合力變弱。用不同種類的拋光劑進行藍寶石單晶的拋光時，用IMA分析儀進行表面元素分析，得知，在拋光面下1μm以內，含有拋光劑的溝成元素，這顯然不是簡單的物理吸附現象。

 
用加工的方法不能去除這樣微小的缺陷。因侵入的元素種類與使用的拋光劑材質有關；如果拋光劑的材料和純度選擇適宜，也不會發生異質元素的侵入。例如，用Si02拋光SOS用的藍寶石基片，或用Zn0拋光用于光波導管的藍寶石基片。在拋光人造水晶或光學玻璃時，為徹底避免拋光中的污染，應使用高純度Si0：微粒作為拋光劑。
 
化學腐蝕是一種無畸變的加工，但腐蝕加工后工件表面元素的濃度與基體內部的濃度是不同的。浮動拋光與化學腐蝕的表面元素濃度分布是類似的。因此，認為浮動拋光也是與化學腐蝕一樣的無畸變加工法。

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